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Hakuto 离子蚀刻机 20IBE-C

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企业旺铺http://www.ljxtrip.com/com/hakuto/

更新日期2020-12-18 10:21

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商品信息

基本参数

品牌:

未填

所在地:

广东 深圳市

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有效期至:

长期有效
详细说明

产品描述

上海伯东日本原装进口适合中等规模量产使用的 Hakuto 离子刻蚀机, 样品台可选直接冷却 / 间接冷却

Hakuto 离子蚀刻机 20IBE-C 产品优势:


Hakuto 离子蚀刻机 IBE 主要优点:
1. 干式制程的微细加工装置, 使得在薄膜磁头, 半导体元件, MR sensor 等领域的开发研究及量产得以广泛应用.
2. 物理蚀刻的特性, 无论使用什么材料都可以用来加工, 所以各种领域都可以被广泛应用.
3. 配置使用美国考夫曼离子源
4. 射频角度可以任意调整, 蚀刻可以根据需要做垂直, 斜面等等加工形状.
5. 基板直接加装在直接冷却装置上, 所以可以在低温环境下蚀刻.
6. 配置公转自转传输机构, 使得被蚀刻物可以得到比较均匀平滑的表面.
7. 机台设计使用自动化的操作流程, 所以可以有非常友好的使用生产过程.

Hakuto 离子蚀刻机 20IBE-C 技术参数:

Hakuto 离子蚀刻机 20IBE-C技术参数:

portant;">

离子蚀刻机φ4 inch X 6片

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基板尺寸

portant;">

< Ф3 inch X 8片
< Ф4 inch X 6片
< Ф8 inch X 1片

portant;">

NS 离子刻蚀机 可选

portant;">

样品台

portant;">

样品台可选直接冷却 / 间接冷却0-90度旋转

portant;">

离子源

portant;">

20cm 考夫曼离子源

portant;">

均匀性

portant;">

±5% for 8”Ф

portant;">

硅片刻蚀率

portant;">

20 nm/min

portant;">

温度

portant;">

<100

Hakuto 离子蚀刻机 20IBE-C 组成:

Hakuto 离子蚀刻机 20IBE-C 组成:
NS 离子蚀刻机

Hakuto 离子蚀刻机 20IBE-C 蚀刻速率:



Hakuto 离子蚀刻机通氩气 Ar 不同材料的蚀刻速率:
NS离子蚀刻机



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